光刻加工采用的曝光技术中具有最高分辨率的是（）

A.电子束曝光技术

B.离子束曝光技术

C.X射线曝光技术

正确答案：C

微细加工技术中的刻蚀工艺可分为下列哪两种（）。

A.离子束刻蚀、激光刻蚀

B.干法刻蚀、湿法刻蚀

C.溅射加工、直写加工

正确答案：B